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﹤半導體﹥微型化矽光子光纖陀螺儀
國立中山大學/洪勇智教授
傳統光纖陀螺儀由多個離散光學元件組成,元件間的連接界面易產生額外損耗與反射,導致系統穩定度與靈敏度下降
為解決此問題,本研究採用與CMOS製程相容之矽光子技術,將陀螺儀中的關鍵主動與被動元件微縮整合至單一晶片中,並結合外部光源與光纖線圈整合成微型的光纖陀螺儀
此設計可有效減少光學連接點數量,降低封裝複雜度,同時兼顧高精度、良好穩定性與低製造成本,達成小型化與量產化的發展目標
技術簡介
本技術以矽光子積體化平台實現微型化光纖陀螺儀模組,成功展現戰術級單軸性能,偏壓不穩定度低於0.1 deg/hr,具備高穩定性與低功耗特性。系統整合關鍵主動與被動元件於單一晶片中,結合外部光源與光纖線圈,可大幅降低封裝複雜度與光學損耗。此成果展現矽光子技術於高精度慣性量測領域的可行性,為後續三軸整合與全晶片化發展奠定基礎。

▲圖說:利用矽光子積體技術將幾個主被動元件微縮至晶片上,封裝後的體積約為1立方公分,再搭配光源及三顆的光纖線圈,即可實現微型的三軸矽光子光纖陀螺儀
應用案例
矽光子光纖陀螺儀具小型化、低成本與高穩定度優勢,未來可應用於無人機、自駕車、立方衛星及機器人導航等高精度定位系統。其高整合與低功耗特性,也使其具潛力成為下一世代微型慣性量測單元(IMU)的關鍵技術平台,推動新興智慧載具與空間定位技術的發展。
相關連結
無
專利名稱證號
矽光子積體電路及光纖陀螺儀裝置 I765412
技術產學合作或技轉單位
產學合作:國家中山科學研究院
技轉單位:Azimuth Avionics
獲獎紀錄
未來科技獎、經濟部國家發明創作獎 金獎
技術聯絡人
國立中山大學前瞻產業聯絡中心
連絡電話:07-5250165

